低【dī】温等离子体技【jì】术：低温等【děng】离子体【tǐ】是继固态、液态、气【qì】态之【zhī】后的物【wù】质第四态，当【dāng】外加电压【yā】到达气体的【de】放【fàng】电电压时，气体被击【jī】穿，发作包含电子【zǐ】、各种离子、原子和自由基在【zài】内【nèi】的混【hún】合体。放电过程【chéng】中虽【suī】然电子温【wēn】度【dù】很高，但重粒子温【wēn】度很低，整个体系出现低温状况，所以称为低